SF6(六フッ化硫黄)は、無毒・無臭なガスで、高い電気絶縁性能を持つことが特徴です。
マグネシウム合金溶解炉の酸化防止や半導体製品のドライエッチング工程で用いられるほか、
ガス変圧器、ガス遮断器、ガス絶縁開閉器などの絶縁材として利用されています。
SF6は地球温暖化の原因となる温室効果ガスの一つに指定されています。
CO2の2万3,900倍という非常に高い温室効果を持ち、
さらに大気中での寿命が3,200年と長いため、
適正に回収・処理する必要があります。
SF6ガスの容積を大幅に減容化でき、
回収時間も大幅に削減できる液化回収精製装置を導入し、運用展開しています。
全メーカーの機器に適合する回収フランジを準備しており、作業対応が可能です。
常に99%以上の回収率で確実な作業を実施し、
回収時のSF6ガス排出抑制にも取り組んでいます。
回収したSF6は、中京フロンの工場で破壊分解処理を行います。
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